etching n. 1.蝕刻法;蝕刻(銅)版畫;蝕鏤術。 2.蝕刻畫,蝕刻版,蝕刻版印刷品。 close [rough] etching (晶體的)精[粗]蝕。 electrochemical etching 電化浸蝕,電拋光。
be characteristic of 表現(xiàn)了…的特點; 具有...的特性, 為...所特有; 具有...特色的; 具有……的特色; 為…所特有,是…的特征
characteristic adj. 有特性的;表示…特性的,…特有的。 Japan's characteristic art 日本特有的藝術。 n. 特性,特征,性能,特色。 be characteristic of …所獨有的特征,有…的特色。 characteristic of logarithm 對數(shù)的首數(shù)。 adv. -cally
The feasibility that kaufman ion source is applied in reactive ion beam etching is discussed . etching characteristics of materials , including pr , cr , quartz , are investigated . the etch rate and mechanisms of such materials are measured and analyzed as a function of ion energy , ion beam density and ion incidence angle in pure ar and chf3 , respectively . the etch rate has shown a square root dependence on variation versus 深入研究了光刻膠、鉻薄膜、石英等光學材料離子束刻蝕特性,分別以ar氣和chf3為工作氣體,研究光刻膠、鉻薄膜、石英等的刻蝕速率隨離子能量,束流密度和離子入射角度的變化關系,得到刻蝕速率與影響因素的擬合方程,為掩模的制作工藝路線提供了實驗依據(jù)和理論指導。